利用報告

装置名
１．イオン注入２．電気炉３．電子ビーム露光装置４．スパッタ装置１５．ステッパ６．スピンドライヤ７．メタルRIE８．深堀RIE９．XeF2エッチャー１０．オーブン１１．ホットプレート１１２．ホットプレート２

消耗品
マスクブランクス（ステッパー用5インチ）マスクブランクス（アライナー用5インチ）スパッタターゲット Au 10分 ¥7,800スパッタターゲット Pt 10分 ¥8,710スパッタターゲット Ag 10分 ¥300スパッタターゲット Al 10分 ¥290スパッタターゲット AlN 10分 ¥500スパッタターゲット Al2O3 10分 ¥680スパッタターゲット AlSi(1%) 10分 ¥660スパッタターゲット AlSi(3%) 10分 ¥660

利用開始利用終了

備考